1. Definisi Sistem Gas Pukal:
Penyimpanan dan kawalan tekanan gas lengai Jenis gas: Gas lengai biasa (nitrogen, argon, udara termampat, dsb.)
Saiz saluran paip: Dari 1/4 (saluran paip pemantauan) hingga saluran paip utama 12 inci
Produk utama sistem ini ialah: injap diafragma/injap bellow/injap bola, penyambung ketulenan tinggi (VCR, bentuk kimpalan), penyambung ferrule, injap pengatur tekanan, tolok tekanan, dan sebagainya.
Pada masa ini, sistem baharu ini juga merangkumi sistem gas khas pukal, yang menggunakan silinder gas tetap atau trak tangki untuk penyimpanan dan pengangkutan.
2. Definisi Sistem Penulenan:
Penyingkiran bendasing daripada gas pukal untuk saluran paip gas berketulenan tinggi
3. Definisi Kabinet Gas:
Menyediakan kawalan tekanan dan pemantauan aliran untuk sumber gas khas (gas toksik, mudah terbakar, reaktif, menghakis), dan mempunyai keupayaan untuk menggantikan silinder gas.
Lokasi: Terletak di tingkat Sub-fabrikasi atau tingkat bawah untuk penyimpanan gas khas Sumber: NF3, SF6, WF6, dsb.
Saiz saluran paip: Saluran paip gas dalaman, biasanya 1/4 inci untuk saluran paip proses, 1/4-3/8 inci terutamanya untuk saluran paip pembersihan nitrogen ketulenan tinggi.
Produk utama: Injap diafragma ketulenan tinggi, injap sehala, tolok tekanan, tolok tekanan, penyambung ketulenan tinggi (VCR, bentuk kimpalan) Kabinet gas ini pada asasnya mengandungi keupayaan pensuisan automatik untuk silinder bagi memastikan bekalan gas berterusan dan penggantian silinder yang selamat.
4. Definisi Pengagihan:
Menyambungkan sumber gas ke gegelung pengumpulan gas
Saiz talian: Di kilang cip, saiz saluran paip pengedaran gas pukal biasanya antara 1/2 inci hingga 2 inci.
Bentuk sambungan: Saluran paip gas khas biasanya disambungkan melalui kimpalan, tanpa sebarang sambungan mekanikal atau bahagian bergerak lain, terutamanya kerana sambungan kimpalan mempunyai kebolehpercayaan pengedap yang kuat.
Di kilang cip, terdapat beratus-ratus kilometer tiub yang disambungkan untuk menghantar gas, yang pada asasnya kira-kira 20 kaki panjang dan dikimpal bersama. Sesetengah lengkungan tiub dan sambungan kimpalan tiub juga sangat biasa.
5. Kotak injap pelbagai fungsi (Kotak Manifold Injap, VMB) Definisi:
Ia adalah untuk mengedarkan gas khas dari sumber gas ke hujung peralatan yang berbeza.
Saiz saluran paip dalaman: saluran paip proses 1/4 inci dan saluran paip pembersihan 1/4 - 3/8 inci. Sistem ini mungkin menggunakan kawalan komputer untuk memerlukan injap yang digerakkan atau situasi kos yang lebih rendah dengan injap manual.
Produk sistem: injap diafragma/injap bellow berketulenan tinggi, injap sehala, sambungan berketulenan tinggi (VCR, bentuk kimpalan mikro), injap pengawal tekanan, tolok tekanan dan tolok tekanan, dsb. Untuk pengagihan beberapa gas lengai, Panel Manifold Injap - VMP (cakera injap berbilang fungsi) digunakan terutamanya, yang mempunyai permukaan cakera gas terbuka dan tidak memerlukan reka bentuk ruang tertutup dan pembersihan nitrogen tambahan.
6. Plat/kotak injap sekunder (Panel Sambungan Alat) Definisi:
Sambungkan gas yang diperlukan oleh peralatan semikonduktor dari sumber gas ke hujung peralatan dan sediakan pengawalaturan tekanan yang sepadan. Panel ini ialah sistem kawalan gas yang lebih dekat dengan hujung peralatan berbanding VMB (kotak injap berbilang fungsi).
Saiz saluran paip gas: 1/4 - 3/8 inci
Saiz saluran paip cecair: 1/2 - 1 inci
Saiz saluran paip pelepasan: 1/2 - 1 inci
Produk utama: injap diafragma/injap bellow, injap sehala, injap pengawal tekanan, tolok tekanan, tolok tekanan, sambungan ketulenan tinggi (VCR, kimpalan mikro), sambungan ferrule, injap bola, hos, dll.
Masa siaran: 22 Nov-2024