1. Takrif Sistem Gas Pukal:
Penyimpanan dan kawalan tekanan gas lengai Jenis gas: Gas lengai biasa (nitrogen, argon, udara termampat, dsb.)
Saiz saluran paip: Daripada 1/4 (saluran paip pemantauan) kepada saluran paip utama 12 inci
Produk utama sistem ialah: injap diafragma/injap belos/injap bebola, penyambung ketulenan tinggi (VCR, bentuk kimpalan), penyambung ferrule, injap pengatur tekanan, tolok tekanan, dsb.
Pada masa ini, sistem baharu itu turut termasuk sistem gas khas pukal, yang menggunakan silinder gas tetap atau trak tangki untuk penyimpanan dan pengangkutan.
2. Definisi Sistem Pemurnian:
Pembuangan kekotoran daripada gas pukal untuk saluran paip gas ketulenan tinggi
3. Kabinet Gas Definisi:
Menyediakan kawalan tekanan dan pemantauan aliran untuk sumber gas khas (toksik, mudah terbakar, reaktif, gas menghakis), dan mempunyai keupayaan untuk menggantikan silinder gas.
Lokasi: Terletak di tingkat Sub-fab atau tingkat bawah untuk penyimpanan gas khas Sumber: NF3, SF6, WF6, dsb.
Saiz saluran paip: Saluran paip gas dalaman, umumnya 1/4 inci untuk saluran paip proses, 1/4-3/8 inci terutamanya untuk saluran paip pembersihan nitrogen ketulenan tinggi.
Produk utama: Injap diafragma ketulenan tinggi, injap sehala, tolok tekanan, tolok tekanan, penyambung ketulenan tinggi (VCR, bentuk kimpalan) Kabinet gas ini pada asasnya mengandungi keupayaan pensuisan automatik untuk silinder untuk memastikan bekalan gas berterusan dan penggantian silinder yang selamat.
4. Definisi Pengedaran:
Menyambung sumber gas ke gegelung pengumpulan gas
Saiz talian: Di kilang cip, saiz saluran paip pengedaran gas pukal biasanya berkisar antara 1/2 inci hingga 2 inci.
Borang sambungan: Saluran paip gas khas biasanya disambungkan dengan kimpalan, tanpa sebarang sambungan mekanikal atau bahagian bergerak lain, terutamanya kerana sambungan kimpalan mempunyai kebolehpercayaan pengedap yang kuat.
Di sebuah kilang cip, terdapat ratusan kilometer tiub yang disambungkan untuk menghantar gas, yang pada asasnya kira-kira 20 kaki panjang dan dikimpal bersama. Beberapa bengkok tiub dan sambungan kimpalan tiub juga sangat biasa.
5. Kotak injap pelbagai fungsi (Kotak Manifold Injap, VMB) Definisi:
Ia adalah untuk mengagihkan gas khas dari sumber gas ke hujung peralatan yang berbeza.
Saiz saluran paip dalaman: saluran paip proses 1/4 inci, dan saluran paip pembersihan 1/4 - 3/8 inci. Sistem ini mungkin menggunakan kawalan komputer untuk memerlukan injap yang digerakkan atau situasi kos yang lebih rendah dengan injap manual.
Produk sistem: injap diafragma ketulenan tinggi/injap belos, injap sehala, sambungan ketulenan tinggi (VCR, bentuk kimpalan mikro), injap pengawal selia tekanan, tolok tekanan dan tolok tekanan, dsb. Untuk pengedaran beberapa gas lengai, Panel Manifold Injap - VMP (cakera injap pelbagai fungsi) digunakan terutamanya, yang mempunyai permukaan cakera gas terbuka dan tidak memerlukan reka bentuk ruang tertutup dan pembersihan nitrogen tambahan.
6. Plat/kotak injap sekunder (Panel Cangkuk Alat) Definisi:
Sambungkan gas yang diperlukan oleh peralatan semikonduktor dari sumber gas ke hujung peralatan dan sediakan peraturan tekanan yang sepadan. Panel ini adalah sistem kawalan gas yang lebih dekat dengan hujung peralatan daripada VMB (kotak injap pelbagai fungsi).
Saiz saluran paip gas: 1/4 - 3/8 inci
Saiz saluran paip cecair: 1/2 - 1 inci
Saiz saluran paip pelepasan: 1/2 - 1 inci
Produk utama: injap diafragma/injap belos, injap sehala, injap pengatur tekanan, tolok tekanan, tolok tekanan, sambungan ketulenan tinggi (VCR, kimpalan mikro), sambungan ferrule, injap bola, hos, dsb.
Masa siaran: Nov-22-2024