As semikonduktordan teknologi mikroelektronik berkembang ke arah prestasi yang lebih tinggi dan integrasi yang lebih tinggi, keperluan yang lebih tinggi diletakkan pada ketulenan gas khas elektronik. Teknologi paip gas ketulenan tinggi adalah bahagian penting dalam sistem bekalan gas ketulenan tinggi. Ia adalah teknologi utama untuk menghantar gas ketulenan tinggi yang memenuhi keperluan ke titik penggunaan gas sambil mengekalkan kualiti yang layak.
Teknologi paip ketulenan tinggi termasuk reka bentuk sistem yang betul, pemilihan kelengkapan paip dan bahan tambahan, pembinaan dan pemasangan serta ujian.
01Konsep umum paip penghantaran gas
Semua gas ketulenan tinggi dan kebersihan tinggi perlu diangkut ke titik gas terminal melalui saluran paip. Untuk memenuhi keperluan kualiti proses untuk gas, apabila indeks eksport gas adalah pasti, adalah lebih perlu untuk memberi perhatian kepada pemilihan bahan dan kualiti pembinaan sistem paip. Sebagai tambahan kepada ketepatan pengeluaran gas atau peralatan penulenan, ia sebahagian besarnya dipengaruhi oleh banyak faktor sistem saluran paip. Oleh itu, pemilihan paip perlu mematuhi prinsip industri penulenan yang berkaitan dan menandakan bahan paip dalam lukisan.
02Kepentingan saluran paip ketulenan tinggi dalam pengangkutan gas
Kepentingan saluran paip ketulenan tinggi dalam pengangkutan gas ketulenan tinggi Semasa proses peleburan keluli tahan karat, setiap tan boleh menyerap kira-kira 200g gas. Selepas keluli tahan karat diproses, bukan sahaja pelbagai bahan pencemar tersekat pada permukaannya, tetapi juga sejumlah gas diserap dalam kekisi logamnya. Apabila terdapat aliran udara yang melalui saluran paip, bahagian gas yang diserap oleh logam akan memasuki semula aliran udara dan mencemarkan gas tulen.
Apabila aliran udara dalam paip tidak berterusan, paip membentuk tekanan penjerapan pada gas yang melaluinya. Apabila aliran udara berhenti berlalu, gas yang diserap oleh paip membentuk analisis pengurangan tekanan, dan gas yang dianalisis juga memasuki gas tulen dalam paip sebagai kekotoran.
Pada masa yang sama, kitaran penjerapan dan analisis akan menyebabkan logam pada permukaan dalaman paip menghasilkan sejumlah serbuk. Zarah debu logam ini juga mencemarkan gas tulen dalam paip. Ciri paip ini sangat penting. Untuk memastikan ketulenan gas yang diangkut, bukan sahaja diperlukan permukaan dalaman paip mempunyai kelancaran yang sangat tinggi, tetapi juga ia harus mempunyai rintangan haus yang tinggi.
Apabila gas mempunyai sifat menghakis yang kuat, paip keluli tahan karat tahan karat mesti digunakan untuk paip. Jika tidak, bintik-bintik kakisan akan muncul pada permukaan dalaman paip akibat kakisan. Dalam kes yang teruk, kepingan logam yang besar akan terkelupas atau bahkan berlubang, dengan itu mencemarkan gas tulen yang diangkut.
03Bahan paip
Pemilihan bahan paip perlu dipilih mengikut keperluan penggunaan. Kualiti paip biasanya diukur mengikut kekasaran permukaan dalaman paip. Semakin rendah kekasaran, semakin kecil kemungkinan ia membawa zarah. Secara umumnya dibahagikan kepada tiga jenis:
Satu adalahPaip gred EP 316L, yang telah digilap secara elektrolitik (Electro-Polish). Ia tahan kakisan dan mempunyai kekasaran permukaan yang rendah. Rmax (puncak maksimum ke ketinggian lembah) ialah kira-kira 0.3μm atau kurang. Ia mempunyai kerataan tertinggi dan tidak mudah untuk membentuk arus pusaran mikro. Keluarkan zarah yang tercemar. Gas tindak balas yang digunakan dalam proses perlu disalurkan pada tahap ini.
Satu ialah agred BA 316Lpaip, yang telah dirawat oleh Bright Anneal dan sering digunakan untuk gas yang bersentuhan dengan cip tetapi tidak mengambil bahagian dalam tindak balas proses, seperti GN2 dan CDA. Satu ialah paip AP (Annealing & Picking), yang tidak dirawat secara khusus dan biasanya digunakan untuk set dua paip luar yang tidak digunakan sebagai talian bekalan gas.
04 Pembinaan saluran paip
Pemprosesan mulut paip adalah salah satu perkara utama teknologi pembinaan ini. Pemotongan dan pemasangan saluran paip dijalankan dalam persekitaran yang bersih, dan pada masa yang sama, ia dipastikan bahawa tiada tanda atau kerosakan yang berbahaya pada permukaan saluran paip sebelum memotong. Persediaan untuk pembilasan nitrogen dalam saluran paip hendaklah dibuat sebelum membuka saluran paip. Pada dasarnya, kimpalan digunakan untuk menyambung saluran paip penghantaran dan pengedaran gas ketulenan tinggi dan kebersihan tinggi dengan aliran besar, tetapi kimpalan langsung tidak dibenarkan. Sambungan selongsong harus digunakan, dan bahan paip yang digunakan dikehendaki tidak mempunyai perubahan dalam struktur semasa mengimpal. Sekiranya bahan dengan kandungan karbon yang terlalu tinggi dikimpal, kebolehtelapan udara bahagian kimpalan akan menyebabkan gas di dalam dan di luar paip menembusi satu sama lain, memusnahkan kesucian, kekeringan dan kebersihan gas penghantar, yang akan membawa kepada akibat yang serius dan menjejaskan kualiti pengeluaran.
Ringkasnya, untuk saluran paip gas ketulenan tinggi dan penghantaran gas khas, paip keluli tahan karat ketulenan tinggi yang dirawat khas mesti digunakan, yang menjadikan sistem saluran paip ketulenan tinggi (termasuk saluran paip, kelengkapan paip, injap, VMB, VMP) menduduki misi penting dalam pengedaran gas ketulenan tinggi.
Masa siaran: Nov-26-2024