As semikonduktordan teknologi mikroelektronik berkembang ke arah prestasi yang lebih tinggi dan integrasi yang lebih tinggi, keperluan yang lebih tinggi diletakkan pada ketulenan gas khas elektronik. Teknologi perpaipan gas berketulenan tinggi merupakan bahagian penting dalam sistem bekalan gas berketulenan tinggi. Ia merupakan teknologi utama untuk menghantar gas berketulenan tinggi yang memenuhi keperluan ke titik penggunaan gas sambil mengekalkan kualiti yang berkelayakan.
Teknologi perpipaan berketulenan tinggi merangkumi reka bentuk sistem yang betul, pemilihan kelengkapan paip dan bahan bantu, pembinaan dan pemasangan serta pengujian.
01Konsep umum perpaipan penghantaran gas
Semua gas berketulenan tinggi dan bersih tinggi perlu diangkut ke titik gas terminal melalui saluran paip. Untuk memenuhi keperluan kualiti proses untuk gas, apabila indeks eksport gas pasti, adalah lebih penting untuk memberi perhatian kepada pemilihan bahan dan kualiti pembinaan sistem perpaipan. Selain ketepatan peralatan pengeluaran atau penulenan gas, ia sebahagian besarnya dipengaruhi oleh banyak faktor sistem saluran paip. Oleh itu, pemilihan paip perlu mematuhi prinsip industri penulenan yang berkaitan dan menandakan bahan paip dalam lukisan.
02Kepentingan saluran paip berketulenan tinggi dalam pengangkutan gas
Kepentingan saluran paip berketulenan tinggi dalam pengangkutan gas berketulenan tinggi Semasa proses peleburan keluli tahan karat, setiap tan boleh menyerap kira-kira 200g gas. Selepas keluli tahan karat diproses, bukan sahaja pelbagai bahan pencemar tersekat pada permukaannya, tetapi juga sejumlah gas diserap dalam kekisi logamnya. Apabila terdapat aliran udara yang melalui saluran paip, bahagian gas yang diserap oleh logam akan memasuki semula aliran udara dan mencemarkan gas tulen.
Apabila aliran udara dalam paip tidak berterusan, paip membentuk penjerapan tekanan pada gas yang melaluinya. Apabila aliran udara berhenti mengalir, gas yang diserap oleh paip membentuk analisis pengurangan tekanan, dan gas yang dianalisis juga memasuki gas tulen dalam paip sebagai bendasing.
Pada masa yang sama, kitaran penjerapan dan analisis akan menyebabkan logam pada permukaan dalam paip menghasilkan sejumlah serbuk tertentu. Zarah debu logam ini juga mencemarkan gas tulen dalam paip. Ciri paip ini sangat penting. Untuk memastikan ketulenan gas yang diangkut, bukan sahaja permukaan dalam paip diperlukan mempunyai kelancaran yang sangat tinggi, tetapi juga rintangan haus yang tinggi.
Apabila gas mempunyai sifat menghakis yang kuat, paip keluli tahan karat yang tahan kakisan mesti digunakan untuk perpaipan. Jika tidak, bintik-bintik kakisan akan muncul pada permukaan dalam paip akibat kakisan. Dalam kes yang teruk, kepingan logam yang besar akan tertanggal atau berlubang, sekali gus mencemari gas tulen yang diangkut.
03Bahan paip
Pemilihan bahan paip perlu dipilih mengikut keperluan penggunaan. Kualiti paip biasanya diukur mengikut kekasaran permukaan dalam paip. Semakin rendah kekasaran, semakin kecil kemungkinan ia membawa zarah. Secara amnya dibahagikan kepada tiga jenis:
Satu ialahPaip gred EP 316L, yang telah digilap secara elektrolitik (Elektro-Penggilap). Ia tahan kakisan dan mempunyai kekasaran permukaan yang rendah. Rmax (puncak maksimum ke ketinggian lembah) adalah kira-kira 0.3μm atau kurang. Ia mempunyai kerataan tertinggi dan tidak mudah membentuk arus mikro-eddy. Keluarkan zarah yang tercemar. Gas tindak balas yang digunakan dalam proses tersebut hendaklah disalurkan pada paras ini.
Satu adalahGred BA 316LPaip, yang telah dirawat oleh Bright Anneal dan sering digunakan untuk gas yang bersentuhan dengan cip tetapi tidak terlibat dalam tindak balas proses, seperti GN2 dan CDA. Salah satunya ialah paip AP (Annealing & Picking), yang tidak dirawat secara khas dan biasanya digunakan untuk set berganda paip luar yang tidak digunakan sebagai talian bekalan gas.
04 Pembinaan saluran paip
Pemprosesan mulut paip merupakan salah satu perkara penting dalam teknologi pembinaan ini. Pemotongan dan pemasangan saluran paip dijalankan dalam persekitaran yang bersih, dan pada masa yang sama, dipastikan tiada tanda atau kerosakan berbahaya pada permukaan saluran paip sebelum pemotongan. Persediaan untuk pembilasan nitrogen dalam saluran paip hendaklah dibuat sebelum membuka saluran paip. Pada prinsipnya, kimpalan digunakan untuk menyambungkan saluran paip penghantaran dan pengagihan gas berketulenan tinggi dan bersih tinggi dengan aliran yang besar, tetapi kimpalan langsung tidak dibenarkan. Sambungan selongsong hendaklah digunakan, dan bahan paip yang digunakan dikehendaki tidak mengalami perubahan struktur semasa kimpalan. Jika bahan yang mempunyai kandungan karbon yang terlalu tinggi dikimpal, kebolehtelapan udara bahagian kimpalan akan menyebabkan gas di dalam dan di luar paip menembusi antara satu sama lain, memusnahkan ketulenan, kekeringan dan kebersihan gas penghantar, yang akan membawa kepada akibat yang serius dan menjejaskan kualiti pengeluaran.
Secara ringkasnya, untuk saluran paip penghantaran gas ketulenan tinggi dan gas khas, paip keluli tahan karat ketulenan tinggi yang dirawat khas mesti digunakan, yang menjadikan sistem saluran paip ketulenan tinggi (termasuk saluran paip, kelengkapan paip, injap, VMB, VMP) menduduki misi penting dalam pengedaran gas ketulenan tinggi.
Masa siaran: 26 Nov-2024